BCG450 大气压至超高真空三合一真空计

BCG450 大气压至超高真空三合一真空计

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BCG450型电容式膜片真空计将三大不同技术的优势融合在一个单个、紧凑和经济的可以测量 5×10-10 到 1500 毫巴（3.75×10-10 到 1125 托）的过程压力和基准压力的工具包里。 BCG450型电容式膜片真空计的设计旨在替代三个传感器（热离子、热量增强型皮拉尼和真空开关），从而节省成本和宝贵的工具空间。
益处

BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量安装与设置的复杂性

10 托以上的压力测量不受气体类型限制，能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制

皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁

高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预

大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定

易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性

备有可选的图形显示屏和现场总线接口

RoHS 合规

典型应用

半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量

工业镀膜

低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

新闻

现有全新EtherCAT数字接口供应！
类型 BCG450

测量范围     5×10-10 … 1500

精度

10-8 … 50 毫巴  % of reading    ±15

50 … 950 毫巴   % of reading    ±5

950 … 1050 毫巴 % of reading    ±2.5

可重复性

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    5

热离子发射   mbar    2×10-2 (high)

（可选高/低，通过 RS232 / 现场总线）  mbar    8×10-3 (low)

除气 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

压力，zui大   bar (absolute)  5

温度

运行（环境） °C 0 … +50

贮存 °C -20 … +70

在法兰处烘烤 °C 80

移除烘烤电子设备 °C 150

电源电压     20 … 28

输出信号模拟

输出信号 V   0 … 10.3

测量范围输出 V   0.774 … 10.3

电压与压强之间的关系 volts per decade    0.75

错误信号 V   0.3 / 0.5

zui小负载 kΩ  10

接口（数字）(2)      RS232C

连接器      D-Sub, 15-pin, male

电缆长度，zui大 (3)   m (ft.) 100 (330)

暴露于真空的材料     Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass

内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF g   285 / 550

保护等级     IP30

DeviceNet™ 

协议    DeviceNet™, group 2 slave only

数据率开关   kBaud   125, 250, 500 or network programmable

电缆长度 125 kbps    m (ft.) 500 (1650)

电缆长度 250 kbps    m (ft.) 250 (825)

电缆长度 500 kbps    m (ft.) 100 (330)

MAC ID      2 switches (address 00 - 63) or network programmable

网络规模     up to 64 nodes per segment

数字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

可视通信指示器       LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)

技术规格     DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

设备类型     ''CG'' for combination gauge

I / O 从属传讯       polling only

设定点继电器： 设定点数量     2

设定点继电器： 范围  mbar    1×10-9 … 1400

设定点继电器： 继电器触点     n.o., potential free

设定点继电器： 滞后  % of reading    10

设定点继电器： 触点额定值     60

设定点继电器： 连接器     D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 电源电压      11 … 25

真空计电源电压       20 … 28

DeviceNet™ 连接器        Microstyle, 5-pin

BCG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器        D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP

波特率      9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

数字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

设定点继电器： 设定点数量     2

设定点继电器： 范围  mbar    1×10-9 … 1400

设定点继电器： 继电器触点     n.o., potential free

设定点继电器： 滞后  % of reading    10

设定点继电器： 触点额定值     60

Profibus DP 连接器       D-Sub, 9-pin, female

BCG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器        D-Sub, 15-pin, male

以太网 

以太网协议       protocol specialized for EtherCAT

通讯标准     ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"

节点地址     Explicit Device Identification

物理层      100BASE-Tx (IEEE 802.3)

以太网数字功能       read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information

过程数据     Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

(CoE)      SDO requests, responses and information

以太网连接件     RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

电缆    shielded Ethernet CAT5e or higher

电缆长度 m (ft.) ≤100 (330)

(1) 除气期间降低精度

(2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允许使用现场总线

(3) 适用于 RS232C 运行 <30m
353-550 BCG450 规管

353-561 BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle

353-551 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R

353-552 BCG450 规管

353-553 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R

353-554 BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF

353-556 BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R

353-557 BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF

353-558 BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.

353-592 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-593 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-511 BPG400 24V电源

353-512 Baffle for BPG400

211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
354-492 BCG450 传感器

354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.